长春光机所大口径平面镜光学加工技术取得突

月25日，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所投资公司奥普光电加工完成BZPMJ700标准平面镜，面型精度PV为0.187λ、Rms为0.018λ、Power为0.00 λ，这标志着长春光机所在大口径平面镜光学加工技术上取得重大突破。

该BZPMJ700标准平面镜由平面反射镜和精密二维支撑架两部分组成。经过技术攻坚，已经加工出高精度面形平面反射镜。直径700mm的平面反射镜有效口径范围面形精度达到PV=0.187λ、Rms=0.018λ、Power=0.00 λ（Λ=6 2.8nm），为该所自制同尺寸平面镜最高精度。此项技术的突破标志着奥普光电具备了直径800mm以内大口径高精度平面镜加工能力，单镜加工周期为半年左右，加工工艺具备定型条件，并能够延伸开发制作不同尺寸和种类的标准平面镜系列产品。该项技术突破为奥普光电创造了新的技术发展点和经济增长点。

据悉，奥普光电也已具备了大尺寸元件的加工能力，成功加工完成了直径580mm、直径700mm的离轴抛物镜，直径12 0mm的球面镜的加工。

Φ700mm平面标准镜在所检测中心用 2英寸ZYGO平面干涉仪检测

Φ700mm平面标准镜面形干涉图及检测数据